第十届国际第三代半导体论坛&第二十一届中国国际半导体照明论坛(IFWS&SSLCHINA2024)、先进半导体技术应用创新展(CASTAS)于2024年11月18-21日在苏州举办。大会以“低碳智联,同芯共赢的”主题特邀到行业前沿的技术专家们齐聚一堂。
其中,“Mini/Micro-LED技术产业应用峰会”邀请到秋水半导体董事长兼创始人蒋振宇博士,带来了主题为《基于混合键合的无损Micro-LED芯片技术》的精彩报告,展示了秋水半导体8英寸混合键合的无损Micro-LED数字车灯芯片技术。特别提出8英寸先进半导体工艺制程是实现显示超高良率制程的必由之路,与之匹配的混合键合技术是半导体异质集成的最佳桥梁,是Micro-LED光与电的完美连接,是打开Micro-LED千亿级芯片市场的终极路径。
蒋振宇博士的演讲内容主要分为三部分:
一、无损Micro-LED技术。
二、混合键合 Hybrid Bonding 技术。
三、秋水基于8英寸混合键合技术的Micro-LED工艺通线。
无损Micro-LED技术
无损(Damage-free)Micro-LED技术路线构建了从根本上解决材料损伤的技术体系,开创了通过结构设计调控电流扩散,彻底解决了刻蚀等物理绝缘方式的材料损伤问题。
无损Micro-LED技术没有材料损伤,是最高良率的技术解决方案,且与现有半导体工艺完全兼容。
混合键合 Hybrid Bonding 技术
混合键合技术是推动半导体走向异质集成方向的最大推动力,已经成功应用于CIS、3DNAND、HBM等半导体芯片领域。混合键合技术应用于Micro-LED芯片领域,可带来多元化多层多色异质集成架构、PPI>20000超高分辨率、6N以上超高pixel良率和高稳定性,是全面升级Micro-LED芯片制程的最佳解决方案。
秋水基于8英寸混合键合技术的
Micro-LED工艺通线
秋水半导体打通了8英寸Micro-LED混合键合的关键技术环节,实现原子级平整界面控制,实现了>95%面积的完美贴合,率先实现8英寸Hybrid Bonding Micro-LED工艺通线,并完成数字车灯产品的封装工艺打通和驱动点亮。
报告要点总结
Micro-LED微显示领域上万亿消费市场嗷嗷待哺,千亿级芯片市场需求因技术瓶颈被压抑。
8英寸以上大尺寸半导体工艺制程是Micro-LED芯片量产的必由之路。
无损Micro-LED技术路线可彻底解决材料损伤问题及其带来的量产难题。
混合键合是半导体异质集成的最佳桥梁,是Micro-LED光与电的完美连接。
秋水发布基于8英寸混合键合Micro-LED数字车灯芯片。
IFWS&SSLCHINA2024峰会展出的众多新技术让我们看到科技前沿成果。秋水发布基于8英寸混合键合的无损Micro-LED数字车灯芯片,该芯片的横空出世将为大家带来更多震撼性的全新体验。