业界首创——非破坏性SiC缺陷检测系统可省巨额成本并提高产出

佚名　2023-12-05

半导体测试解决方案专业品牌蔚华科技（TWSE: 3055）携手旗下数字光学品牌南方科技，共同推出业界首创的JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统，采用先进非线性光学技术对SiC衬底进行全片扫描，找出衬底内部的致命性晶体缺陷，用以取代现行高成本的破坏性KOH（氢氧化钾）蚀刻检测方式，可提升产量并有助于改善制程。若以每个SiC晶锭需蚀刻2片衬底来计算，JadeSiC-NK可为具有100个长晶炉的衬底厂省下每年5600万因蚀刻而损耗的成本。

需求迅速爆发 SiC衬底与组件供不应求

唯KOH是高成本痛点

在现今环境永续意识抬头的全球趋势下，许多国家已制定电动车的阶段性政策目标，SiC芯片需求迅速爆发，尤其用于生产电动汽车使用的耐高温高压SiC功率半导体组件，供给量远远不及需求。

第三代半导体的衬底材料质量决定下游芯片的可靠度及性能优劣，但SiC长晶速度较慢，且衬底晶体缺陷只能以破坏性的KOH蚀刻方式进行抽样检测，使得SiC芯片制程成本居高不下，目前全球主要衬底厂皆积极投资产能扩充并改善制程，加速产业布局以抢攻市占率。衬底厂与组件厂若能在制程中对材料做全面非破坏性检测，不仅可减少原本KOH蚀刻的有害化学溶液使用量，更能及早发现问题，进而有效改善制程、提升良率，进而在第三代半导体市场中展现绝佳优势。

蔚华科与旗下南方科技推出的非破坏性SiC缺陷检测系统，采用先进非线性光学技术对SiC基板进行全片扫描，找出衬底内部致命性晶体缺陷，以取代现行高成本的破坏性KOH（氢氧化钾）蚀刻检测方式。

JadeSiC-NK以非线性光学检测取代现行

破坏性KOH蚀刻可降低成本提高产能

南方科技总经理王嘉业表示，目前市场上的光学技术只能检测表面非晶体缺陷，JadeSiC-NK系统采用先进的非线性光学技术，可对全片衬底表面到特定深度进行扫描，反应晶体结构信息，提供晶体缺陷密度及其分布状况，让客户有效掌握衬底质量，未来生产出的组件质量与效能也能更加稳定。

王嘉业进一步说明，JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统专注在稳定且有效地找出衬底中的致命性晶体缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相较现行将SiC晶锭切片后取上下二片衬底进行检测的KOH蚀刻方式，可大幅节省检测时间与衬底成本。以每个长晶炉每月产出四个晶锭为例，采用JadeSiC-NK后，每个晶锭可省下二片衬底成本（每片6寸衬底以800美元计），因此可推估一个长晶炉每年可省下人民币56万元，若是具有100个长晶炉的衬底厂，一年即可省下人民币5600万元！此外，JadeSiC-NK也可针对同一个晶锭进行100%的晶圆检查，进行详细的晶锭分析和批次追踨分析，协助客户在高技术门槛的第三代半导体市场加速制程及产量优化。

阳明交通大学光电工程学系讲座教授郭浩中表示，蔚华与南方科技推出的JadeSiC-NK系统，将非线性光学技术应用在第三代半导体的检测分析，有助突破目前业界在量产及制程改善的技术瓶颈，对于产业链发展提供极大推力，期盼此系统能以更有效更稳定的检测方法，建立业界SiC衬底检测标准，成为产业界非线性光学技术的领航品牌，引领市场应用持续创新及突破。

蔚华科技与南方科技共同推出业界首创JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统，协助第三代半导体客户节省成本并提高产出

从设备代理到自有产品

跨足光学检测领域蔚华科前景可期

蔚华科技总经理杨燿州表示，考虑经销代理的不稳定性及追求更好的获利结构，蔚华不断加强投资自有产品开发以求推出更贴近客户需求的解决方案，此次透过并购南方科技，加速自有产品的发展进程，让蔚华从半导体封测设备跨足光学检测，首先锁定极具前景的第三代半导体材料缺陷检测，对客户、员工及投资人来说都将是非常振奋人心的新局。

杨燿州进一步指出，蔚华与南方科技自经销合作以来就秉持共同成长、互相成就的初心，成立先进光学材料检测实验室让独特的光学检测技术更快进入业界应用，透过客户的反复验证，进而调整产品规格以满足客户需求。除了将非线性光学技术应用在本次推出的JadeSiC-NK外，未来也将加速将南方科技在MicroLED、超颖材料、硅光子等先进光学检测技术的商业化，持续加大研发能量有效整合集团资源，发挥综效。

光电科技工业协进会董事长邰中和则表示，非常乐见两家台湾企业透过互补双赢的结合产生综效，更为产业创造巨大价值。蔚华与南方科技推出的JadeSiC-NK系统是极具指针性的技术突破，不但对全球第三代半导体业来说是可以大幅降低成本并增加产能的革命性产品，更能让全球看见蔚华与南方科技在光学领域的技术实力，在未来蓬勃发展的第三代半导体市场扮演关键角色。

蔚华科与旗下南方科技发表业界首创非破坏性SiC缺陷检测系统，抢攻第三代半导体检测分析市场（左起：蔚华科技总经理杨燿州、蔚华科技董事长秦家骐、光电科技工业协进会董事长邰中和、技嘉科技董事长叶培城、南方科技董事长陈怡然、南方科技总经理王嘉业）

关于蔚华科技

蔚华科技（股票代码：3055）是大中华地区半导体封测解决方案专业品牌，拥有先进的全方位解决方案及产品，提供半导体各个制程与不同产品的测试、封装、检测、验证等设备销售、应用工程与客户服务需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, Southport, TASMIT, TESCAN, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半导体设备领导品牌。蔚华集团以专业分工，提供半导体、电子制造、通讯及车用电子等科技产业高质量的整合解决方案。蔚华科技成立于1987年，总部位于台湾新竹，于上海、苏州、深圳、成都、高雄皆有服务据点。更多讯息请浏览公司官网 www.spirox.com。

关于南方科技

南方科技成立于2014年8月，创办团队集合了光学、材料、物理、信息等跨领域人才，将新颖的光学设计观念导入光学工程领域。透过先进光学简单化、模块化、数字化的核心理念（光学模块化、数字化、软件化的核心理念，让艰深的光学运用更为友善及简单），使研究人员专注在研究开发工作，改善实验设计观念、提升研究效率、缩短研发时程、挥洒研发创意，加速研究与产业技术发展的进程。南方科技以『5D显微术』与『数字光学』两大核心技术为基础，将崭新的光学观念与技术导入先进材料分析、生医影像、显微3D光学检测与数字光学应用四大应用领域。在不同的应用领域，南方致力于研发与创新，深入了解行业痛点并且专注解决关键问题。更多讯息请浏览公司官网 www.southport.com.tw。

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